一种超宽带状离子束产生装置及离子注入机

摘要

本发明公开了一种超宽带状离子束产生装置及离子注入机。为了解决现有的超宽离子束的均匀性较差的问题，所述超宽带状离子束产生装置包括离子质量分析磁铁、分析光栏和离子束聚焦磁铁；所述离子质量分析磁铁具有斑状离子束穿过的空间；所述分析光栏具有从所述离子质量分析磁铁出来的汇聚的带状离子束穿行的空间；所述离子束聚焦磁铁具有从所述分析光栏出来的带状离子束穿行的空间；所述离子质量分析磁铁产生第一磁场，所述离子束聚焦磁铁产生第二磁场，所述第二磁场与所述第一磁场方向垂直。本发明在现有斑状离子源的基础上产生超宽带状离子束，并且达到质量分析的目的，并保证整个带状离子束宽度上不变。

主权项

一种超宽带状离子束生成装置，在沿带状离子束的任意位置处界定了正交(X，Y，Z)笛卡尔坐标系，其中所述坐标系的Z轴在所述带状离子束的中心线处沿所述束方向延伸，Y轴沿所述带状离子束的所述细长剖面的较长方向延伸，而X轴沿所述细长剖面的较短方向延伸；其特征是，该超宽带状离子束生成装置包括离子质量分析磁铁（222）、位于离子质量分析磁铁（222）下游的分析光栏（224）、设置在分析光栏（224）下游的离子束聚焦磁铁（226）；所述离子质量分析磁铁（222）具有斑状离子束（103）穿过的空间，该离子质量分析磁铁（222）将斑状离子束（103）汇聚成汇聚的带状离子束（105）；所述分析光栏（224）具有从所述离子质量分析磁铁（222）出来的汇聚的带状离子束（105）穿行的空间，该分析光栏（224）将所述汇聚的带状离子束（105）生成为在X方向汇聚，在Y方向发散的发散带状离子束（105）；所述离子束聚焦磁铁（226）具有从所述分析光栏（224）出来的带状离子束（105）穿行的空间，该离子束聚焦磁铁（226）将从分析光栏（224）出来的发散带状离子束（105）生成为平行带状离子束（105）；所述离子质量分析磁铁（222）配置成两块磁极相反的磁铁（440,442）以产生沿所述Y方向的第一磁场，所述离子束聚焦磁铁（226）配置成两块磁极相反的磁铁（550,552）以产生沿所述X方向的第二磁场，所述第二磁场与所述第一磁场方向垂直。