| 主权项 |
一种多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法，其特征在于，具有以下过程和步骤：1) 使用载玻片作为衬底，用分析纯丙酮，酒精和去离子水分别进行超声波清洗，使载玻片清洁，烘干后放入等离子体增强化学气相沉积反应室；用等离子体增强化学气相沉积方法在载玻片上生长一层非晶硅薄膜，沉积时载玻片的温度为150℃~250℃，沉积压强即真空度为1.1Torr，沉积薄膜厚度为200~300nm；2) 将氯化镍溶于乙醇中，向体积比为乙醇：甲苯=1:4的乙醇和甲苯溶液中加入乙基纤维素使溶液变粘稠，然后将溶有氯化镍的乙醇溶液加入乙醇和甲苯混合的粘稠溶液中，配置成质量浓度为0.5%~1%的粘稠性氯化镍溶液；3) 通过旋涂法将粘稠性氯化镍溶液旋涂在非晶硅薄膜表面；匀胶机的转速为1500rpm~2100rpm；4) 将步骤3）制得的样品放入石英舟内，将装载好的石英舟置于石英管式退火炉中，以升温速率为5oC/min升温到400℃退火，并恒温2小时后冷却到室温，全程通入氮气作为保护气体，气体流量为100sccm；5) 然后将样品取出置于快速热退火炉中，以150~200℃/s的升温速率快速提升温度，将薄膜表面升温至580~600℃，再恒温15s，然后开始自然冷却；当薄膜温度冷却到达室温后，按相同方法再进行下一次快速热退火，共进行三次这种循环过程；在整个快速热退火过程中，通入氮气作为保护气体，气体流量为100sccm。6) 用稀盐酸溶液来清洗样品表面，最后得到诱导晶化多晶硅薄膜。 |
