一种物理除磷制备多晶硅的方法及设备

摘要

一种物理除磷制备多晶硅的方法及设备，公布了一种使用物理方法降低冶金级硅中磷含量的方法和设备。该方法主要利用磷的物理特性，经过将冶金级硅在特定的环境下将磷去除，使其达到太阳能级硅的要求，同时设计出了一种带微孔搅拌托盘的与上述方法配套使用的设备。本发明过程简单，效率高，且节能环保，适合推广使用。

主权项

一种物理除磷制备多晶硅的设备，其特征在于，由搅拌杆、升降杆、连接丝口、搅拌托盘、驱动装置、坩埚和精炼炉组成，所述升降杆连接精炼炉的炉盖，并能由驱动装置驱动在炉盖上上下移动，所述驱动装置安装在炉盖上靠近升降杆处，所述升降杆与搅拌杆通过连接丝口连接，在搅拌杆的下端连接搅拌托盘，使搅拌托盘悬在坩埚中间，所述搅拌托盘为圆形，托盘面上分布多个1～2mm微孔。