法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器

摘要

本发明提供了一种法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器。该光纤法布里-珀罗式压强感测腔包括：壳体；第一膜片，在其中心位置设置杯状凸台；第二膜片，在其中心位置设置柱形凸台，柱形凸台的外柱面和杯状凸台的内筒面以共轴插接方式可滑动匹配，杯状凸台的底面与柱状凸台的顶面之间形成一容积空间；光纤，穿过柱形凸台伸入容积空间内，其端面和杯状凸台的底面作为法布里-珀罗腔的两个反射面；第一/第二膜片随外界气压的变化而运动，从而柱形凸台在杯状凸台内前后运动，进而引起法布里-珀罗腔的腔长发生变化。本发明中，杯状凸台的内侧壁与柱形凸台外侧壁共轴插接，可以保证膜片受到压力时法布里-珀罗腔的两个反射面始终平行。

主权项

一种法布里‑珀罗式压强感测腔，其特征在于，包括：壳体；第一膜片，沿垂直于所述壳体中心轴线的方向密封并固定于所述壳体内，在其中心位置设置杯状凸台；第二膜片，沿垂直于所述壳体中心轴线的方向密封并固定于所述壳体内，在其中心位置设置柱形凸台，所述柱形凸台的外柱面和所述杯状凸台的内筒面以共轴插接方式可滑动匹配，所述杯状凸台的底面与柱状凸台的顶面之间形成一容积空间；光纤，穿过所述柱形凸台伸入所述容积空间内，其端面和所述杯状凸台的底面作为所构成的法布里‑珀罗腔的两个反射面；其中，所述第一膜片和/或第二膜片随外界气压的变化而运动，从而所述柱形凸台在所述杯状凸台内前后运动，进而引起所述法布里‑珀罗腔的腔长发生变化。