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发明名称
Low micropipe 100 mm silicon carbide wafer
摘要
A high quality single crystal wafer of SiC is disclosed having a diameter of at least about 100 mm and a micropipe density of less than about 25 cm-2.
申请公布号
US8618552(B2)
申请公布日期
2013.12.31
申请号
US20070940423
申请日期
2007.11.15
申请人
POWELL ADRIAN;BRADY MARK;LEONARD ROBERT TYLER;CREE, INC.
发明人
POWELL ADRIAN;BRADY MARK;LEONARD ROBERT TYLER
分类号
H01L29/24
主分类号
H01L29/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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