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发明名称 PROCEDE DE COLLAGE MOLECULAIRE AVEC NETTOYAGE A L'ACIDE FLUORHYDRIQUE EN PHASE VAPEUR ET RINCAGE A L'EAU DEIONISEE
摘要
申请公布号 FR2912840(B1) 申请公布日期 2009.04.24
申请号 FR20070001168 申请日期 2007.02.19
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 FOURNEL FRANK;MORICEAU HUBERT;MORALES CHRISTOPHE;PERREAU PIERRE
分类号 H01L21/306;C09J5/02;C23F1/12 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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