| 摘要 |
1. Установка для нанесения покрытия на подложку, содержащая:вакуумную камеру, внутреннее пространство которой приспособлено для размещения подложки для нанесения покрытия, и в стенке которой имеется по меньшей мере одно окно,по меньшей мере одну распыляемую мишень, которая предназначена для абляции во время работы установки путем бомбардировки частицами,устройство для определения износа распыляемой мишени, содержащее измерительное устройство для оптического измерения расстояния между по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой снаружи вакуумной камеры и по меньшей мере одной предварительно определяемой точкой на поверхности распыляемой мишени через упомянутое окно, при этом измерительное устройство соединено с оценочным устройством, рассчитанным на корректировку одного из следующего: параллакса или геометрического искажения.2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что содержит позиционирующее устройство, с помощью которого распыляемая мишень может перемещаться из рабочего положения в место измерения.3. Установка по п.2, отличающаяся тем, что позиционирующее устройство содержит цилиндр, на боковой поверхности которого находится по меньшей мере одна распыляемая мишень.4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что измерительное устройство содержит устройство для лазерной триангуляции и/или интерферометр.5. Установка по любому из пп.1-4, дополнительно содержащая опору, на которой может быть подвижно установлено измерительное устройство.6. Установка по любому из пп.1-4, дополнительно содержащая регулирующее устройство для установления предварительно определяемого желательного значения скорост |
