| 摘要 |
L'invention concerne des micro-systèmes vibrants, et notamment mais non exclusivement les micro-capteurs de pression, accélération, ou vitesse angulaire à résonateur en cavité sous vide. Le résonateur (10) à élément vibrant est placé dans un circuit oscillant contrôlé par une boucle d'asservissement, le circuit oscillant fournissant un signal d'oscillation y(t) à une fréquence de résonance Fp représentant la mesure d'une grandeur physique. La fréquence de résonance est calculée par comptage d'impulsions pendant une fenêtre temporelle. Le capteur comprend en outre des moyens pour calculer un paramètre de continuité Pc représentant les variations du résultat du calcul de la fréquence de résonance au cours des fenêtres temporelles successives, et des moyens pour comparer le paramètre Pc à un seuil pour en déduire une information sur la dégradation de la précision du capteur. |
