| 摘要 |
본 발명은 텐덤구조를 갖는 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광전 변환효율을 극대화시킬 수 있는 태양전지의 제공을 목적으로 하는 하부 태양전지 셀과 상부 태양전지 셀을 포함하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 상기 목적은 텐덤구조를 갖는 태양전지에 있어서, 세척된 n타입 실리콘 기판의 하부에 배면전극용 금속막을 형성하고, 상기 n타입 실리콘 기판의 상부를 에칭물질을 이용하여 에칭한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 실리콘 층을 생성함으로써 형성되는 하부 pn접합 셀, 및 상기 하부 pn접합 셀의 상부에 TCO(i-ZnO)를 증착하고 패턴을 형성하며, 상기 패턴 상에 Al이 도핑된 ZnO(Al:Zno)를 증착하여 형성되는 n타입 투명전극층, 그리고 상기 n타입 투명전극층의 상부에 CIGS 파우더를 도포한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 형성되는 p타입 CIGS 층으로 구성되며, 상기 p타입 CIGS 층의 상부에 그리드전극용 금속막이 증착된 상부 pn접합 셀을 포함하는 텐덤구조를 갖는 태양전지에 의해서 달성된다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법에 있어서, n타입 실리콘 기판을 세척 후, 증류수로 세정하는 제1단계, 세정된 상기 n타입 실리콘 기판의 하부에 배면전극용 금속막을 스크린 프린팅(Screen Printing)하는 제2단계, 상기 배면전극용 금속막이 형성된 상기 n타입 실리콘 기판의 상부를 에칭물질을 이용하여 에칭한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 실리콘 층을 생성함으로써 하부 pn접합 셀을 형성하는 제3단계, 상기 하부 pn접합 셀의 상부에 TCO(i-ZnO)를 증착하는 제4단계, 증착된 상기 TCO(i-ZnO) 상에 상기 에칭물질을 상기 스크린 프린팅하고, 증류수로 세척하여 패턴을 형성하는 제5단계, 상기 패턴 상에 Al이 도핑된 ZnO(Al:Zno)를 증착하여 상부 pn접합 셀의 n타입 투명전극층을 형성하는 제6단계, 상기 n타입 투명전극층의 상부에 CIGS 파우더를 도포한 후, 확산로 내에서 P도펀트를 도핑하여 p타입 CIGS 층을 형성하는 제7단계, 및 상기 p타입 CIGS 층의 상부에 그리드전극용 금속막을 증착하는 제8단계를 포함하는 텐덤구조를 갖는 태양전지 제조방법에 의해서도 달성된다. |
