具双面粗化垂直导通式发光二极体之制造方法及其产品

摘要

本发明提供具双面粗化垂直导通式发光二极体之制造方法及其产品，用在晶圆贴合制程温度下呈液态的接着剂及晶圆贴合技术，将可作为电极的第二基板与双面粗化的氮化镓系列材料磊晶成的磊晶膜单元相连接，并在移除原本用于磊晶或连接磊晶膜单元的第一基板、设置电极后，制作得到具双面粗化垂直导通式发光二极体，本发明除了同时藉由接着剂与晶圆贴合技术，而使第二基板与磊晶膜单元更稳固的连接之外，由于整个制程都是在不大于晶圆贴合制程温度范围下进行，所以可以克服高温制程导致反射镜发生质变的问题，使元件具有更高的发光效率。