| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft Verfahren zur Trocknung eines auf eine Substratoberfläche eines Substrats (3) aufgetragenen, eine verdampfbare Flüssigkeit enthaltenden Fluidfilms (F) mit folgenden Schritten: Transportieren des Substrats (3) auf einer Transportfläche (6) einer Transportvorrichtung (5) entlang einer Transportrichtung (T) durch eine Trocknungseinrichtung (7), Verdampfen der Flüssigkeit mittels mehrerer in Transportrichtung (T) aufeinanderfolgend angeordneter Wärmequellen(13), wobei jede der Wärmequellen (13) eine Heizfläche (G) aufweist, welche in einem Abstand (deltaG) von 0,1 mm bis 15,0 mm gegenüberliegend der Substratoberfläche angeordnet ist, und Abführen der verdampften Flüssigkeit durch einen zwischen zwei aufeinanderfolgenden Heizflächen (G) vorgesehene Abführöffnung (19).</p> |
