| 摘要 |
<p>본 발명은 디스플레이 패널용 기판 흡착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 디스플레이 패널용 기판 흡착장치는 상부 구조물에 설치되어 승강하는 지지대;와, 중공부와, 흡착 대상 기판의 면적에 대응하는 면적을 갖는 저면부와, 상기 중공부와 연통하도록 저면부에 다수 형성되는 흡착공이 형성되어 상기 지지대의 하부에 이격 배치되는 흡착플레이트; 및, 상기 지지대와 흡착플레이트의 사이에 공기층이 마련되도록 적어도 상기 지지대와 흡착플레이트의 상호 대향하는 면의 테두리를 연결하는 완충용 에어백;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 흡착플레이트와 기판의 접촉에 의한 충격을 흡수하여 기판의 파손을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널용 기판 흡착장치가 제공된다.</p> |
