| 摘要 |
<p>본 발명의 액정표시장치 및 그 제조방법은 데이터 배선으로 구리와 같은 저저항 도전물질을 사용하는 경우 하부층으로 구리가 확산되는 것을 방지하기 위해 확산 방지층을 적용하는 한편 상기 데이터 배선용 도전막에 비해 습식 식각률(etch rate)이 낮은 상기 확산 방지층을 건식 식각을 통해 식각하여 메탈 팁(metal tip)을 형성함으로써 저저항의 데이터 배선을 적용하는 동시에 미세 채널을 구현하기 위한 것으로, 제 1 기판을 제공하는 단계; 상기 제 1 기판 위에 게이트전극과 게이트라인을 형성하는 단계; 상기 제 1 기판 위에 제 1 절연막을 형성하는 단계; 건식 식각을 이용하여 상기 게이트전극 상부에 액티브패턴과 오믹-콘택층 및 확산 방지층을 형성하며, 습식 식각을 이용하여 상기 확산 방지층 위에 소오스/드레인전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 기판 위에 제 2 절연막을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 드레인전극의 일부를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하는 화소전극을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하며, 상기 확산 방지층은 건식 식각을 통해 상기 소오스/드레인전극에 비해 돌출한 메탈 팁을 가지는 것을 특징으로 한다.</p> |
