| 摘要 |
<p>다양한 컴퓨터 구현 방법들이 제공된다. 레티클의 설계 패턴에서의 결함들을 분류하기 위한 일 방법은, 개개 결함들에 인접한 영역에 대한 하나 이상의 특징들과 함께, 개개 결함들과 연관된 우선 순위 정보를 사용해 검사 데이터에서 관심 결함들을 검색하는 단계를 포함한다. 우선 순위 정보는 개개 결함들과 연관된 변조 레벨들에 대응한다. 검사 데이터는 리소그래피 변수의 상이한 값들에 대해 발생된 레티클의 이미지들을 비교하는 것에 의해 발생된다. 이미지들은 하나 이상의 기준 이미지 및 하나 이상의 변조 이미지를 포함한다. 합성 기준 이미지가 2 이상의 기준 이미지들로부터 발생될 수 있다. 이 방법은 관심 결함들에 하나 이상의 식별자들을 할당하는 단계도 포함한다. 식별자(들)는, 예를 들어, 결함 분류 및/또는 관심 결함들이 추가적인 프로세싱에 사용되어야 하는지를 식별하는 지시자를 포함할 수도 있다.</p> |
