发明名称 スパッタリング装置
摘要
申请公布号 JP5935028(B2) 申请公布日期 2016.06.15
申请号 JP20120108976 申请日期 2012.05.11
申请人 パナソニックIPマネジメント株式会社 发明人 早田 博
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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