一种新型坩埚及其制造方法

摘要

本发明提供一种新型坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，包括：上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，上环部为一环状中空体，由若干个弧形第一组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；中环部为一环状中空体，由若干个弧形第二组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；下碗装部为一弧形碗状体，包括：若干个第三组合片和一碗底部，第三组合片垂直与碗底部连接形成碗壁。本发明的坩埚性价比高、耐腐蚀能力强，可以有效对抗硅蒸汽的侵蚀，使用寿命长。

主权项

一种新型坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种碳纤维复合材料的应用领域，其特征在于，所述新型坩埚包括：上环部、中环部和下碗装部，所述上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，所述上环部为一环状中空体，所述上环部由若干个弧形第一组合片组成，所述第一组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述中环部为一环状中空体，所述中环部由若干个弧形第二组合片组成，所述第二组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述下碗装部为一弧形碗状体，所述下碗装部包括：若干个第三组合片和一碗底部，所述若干个第三组合片垂直与所述碗底部连接，所述若干个第三组合片形成碗状体的碗壁。