激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其具有：卡盘台和激光光线照射构件，该激光光线照射构件包括：激光光线振荡构件；分支构件，其将激光光线振荡构件振荡出的激光光线分支成第一光路和第二光路；第一光路构件，其配置在第一光路；第二光路构件，其配置在第二光路；合并构件，其使通过第一光路构件的第一激光光线和通过第二光路构件的第二激光光线合并并导至第三光路；像差校正透镜，其配置在第三光路；聚光透镜，其使通过像差校正透镜的第一激光光线和第二激光光线会聚并生成第一聚光点和第二聚光点；第一移动构件，其隔着合并构件使第一光路构件相对于像差校正透镜接近和远离；第二移动构件，其隔着合并构件使第二光路构件相对于像差校正透镜接近和远离。

主权项

一种激光加工装置，其具有：卡盘台，其保持被加工物；以及激光光线照射构件，其对保持在该卡盘台上的被加工物照射激光光线，该激光加工装置的特征在于，该激光光线照射构件具有：激光光线振荡构件；分支构件，其将该激光光线振荡构件振荡出的激光光线分支成第一光路和第二光路；第一光路构件，其配置在该第一光路上；第二光路构件，其配置在该第二光路上；合并构件，其使通过了该第一光路构件的第一激光光线和通过了该第二光路构件的第二激光光线合并而引导至第三光路；像差校正透镜，其配置在该第三光路上；聚光透镜，其使通过了该像差校正透镜的该第一激光光线和该第二激光光线会聚而生成第一聚光点和第二聚光点；第一移动构件，其隔着该合并构件使该第一光路构件相对于该像差校正透镜接近和远离；以及第二移动构件，其隔着该合并构件使该第二光路构件相对于该像差校正透镜接近和远离，通过该第一移动构件和该第二移动构件使该第一光路构件和该第二光路构件相对于该像差校正透镜接近和远离，由此使该第一聚光点和该第二聚光点沿该第三光路移动。