蚀刻置具

摘要

本实用新型提供一种蚀刻置具，用于夹持基板以供该基板的蚀刻制程的进行，其包含：底座、上盖、及第一密封止挡组件，基板置放于自底座下凹的容置部内，借助上盖及设于底座周缘的固定件来将基板夹持于其中，该上盖具有由内缘所形成的中间篓空部，以露出该基板的部分的上蚀刻面，该内缘并延伸至该基板上方以使该上盖遮蔽该基板的上蚀刻面的其余部分，其中该上盖在覆盖该基板的面上具有环绕该上盖内缘的第一凹槽，并于该第一凹槽内设有与上盖及基板接触的第一密封止挡组件，因此，本实用新型的蚀刻置具可适用于较薄的基板的蚀刻制程。

主权项

一种蚀刻置具，用于夹持基板以供该基板的蚀刻制程的进行，其特征在于，其包含: 底座，自顶面向下凹陷有供该基板置放的容置部，该底座周缘并设有至少一固定件; 上盖，借助该至少一固定件固定于该底座的容置部周围的该顶面上，该上盖具有由内缘形成的中间篓空部，以露出该基板的部分的上蚀刻面，该内缘并延伸至该基板上方以使该上盖遮蔽该基板的上蚀刻面的其余部分，其中，该上盖在覆盖该基板的面上具有环绕该上盖的内缘的第一凹槽;以及 第一密封止挡组件，设于该第一凹槽内以围绕该上盖的内缘，该第一密封止挡组件与该上盖及该基板接触。