| 主权项 |
一种双扭摆式微机电磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的衬底（12）、底电极层（13）、牺牲层（14）、金属层（15）和氮化硅层(16)，牺牲层（14）、金属层（15）和氮化硅层(16)均为中空结构，氮化硅层(16)的顶面设有锚区（17），锚区（17）一边设有第二焊盘（62）、第四焊盘（82）和两个第五焊盘（92），锚区（17）另一边设有第一焊盘（52）、第三焊盘（72）、第十焊盘（112）和两个第六焊盘（102）；氮化硅层(16)的中部设有第一扭摆梁（1），第一扭摆梁（1）通过两个第一支撑梁（2）与锚区（17）固定连接，第一扭摆梁（1）和第一支撑梁（2）处于悬空状态；第一扭摆梁（1）的内侧设有第二扭摆梁（3），第二扭摆梁（3）通过两个第二支撑梁（4）与第一扭摆梁（1）的内壁固定连接，第二扭摆梁（3）和第二支撑梁（4）处于悬空状态；第一扭摆梁（1）边缘和第二扭摆梁（2）边缘布设有第一驱动金属线（9）和第二驱动金属线（10）；第一扭摆梁（1）的底面设有第一电容（5）和第二电容（6），第一扭摆梁（1）的顶面设有第一电容引线（51）和第二电容引线（61）；第二扭摆梁（3）的底面设有第三电容（7）和第四电容（8），第二扭摆梁（3）的顶面和第一扭摆梁（1）的顶面设有第三电容引线（71）和第四电容引线（81）；第一扭摆梁（1）中设有含金属柱的第一通孔（53）和含金属柱的第二通孔（63），第一电容（5）通过第一通孔（53）与第一电容引线（51）的一端连接，第一电容引线（51）的另一端与第一焊盘（52）连接；第二电容（6）通过第二通孔（63）与第二电容引线（61）的一端连接，第二电容引线（61）的另一端与第二焊盘（62）连接；第二扭摆梁（3）中设有含金属柱的第三通孔（73）和含金属柱的第四通孔（83），第三电容（7）通过第三通孔（73）与第三电容引线（71）的一端连接，第三电容引线（71）另一端与第三焊盘（72）连接；第四电容（8）通过第四通孔（83）与第四电容引线（81）一端连接，第四电容引线（81）另一端与第四焊盘（82）连接；第一驱动金属线（9）的两端分别与一个第五焊盘（92）连接，第一扭摆梁（1）上设有含金属柱的第五通孔（93）和含金属柱的第六通孔（94），第一驱动金属线（9）的第一中间端（20）通过第五通孔（93）的金属柱与第一连接线（22）的一端连接，第一驱动金属线（9）的第二中间端（21）通过第六通孔（94）的金属柱与第一连接线（22）另一端连接；第二驱动金属线（10）的两端分别与一个第六焊盘（102）连接，第一扭摆梁（1）上设有含金属柱的第七通孔（103）和含金属柱的第八通孔（104），第二驱动金属线（10）的第三中间端（18）通过第七通孔（103）的金属柱与第二连接线（23）的一端连接，第二驱动金属线（10）的第四中间端（19）通过第八通孔（104）的金属柱与第二连接线（23）的另一端连接；牺牲层（14）中设有含有金属柱的第九通孔（114），氮化硅层(16)中设有含金属柱的第十通孔（113），底电极层（13）通过第九通孔（114）、金属层（15）和第十通孔（113）与第七焊盘（112）连接。 |
