真空泵及其转子

摘要

本发明提供一种真空泵及其转子，不会导致泵内部的耐腐蚀性恶化及泵构造的复杂化，能够将设在旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的间隙设定在最小限度，谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。真空泵（P1）的转子（6）具备被驱动而旋转的圆形部件（60）和与其外周接合的圆筒部件（62），并且在圆筒部件（62）与包围在其外周的固定部件（18）之间形成螺纹泵流路（S）。圆筒部件（62）是，由具有热膨胀比圆形部件（60）小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成。使圆筒部件（32）上的非接合部（N）与固定部件（18）之间的第2区域的间隙（δ2）小于圆筒部件（62）上的接合部（J）与固定部件（18）之间的第1区域的间隙（δ1）。

主权项

一种真空泵，具备：圆形部件，驱动上述圆形部件绕其中心旋转的驱动单元，与上述圆形部件的外周接合的圆筒部件，包围在上述圆筒部件的外周的固定部件，以及形成在上述圆筒部件与上述固定部件之间的螺纹泵流路，由于上述圆形部件以及上述圆筒部件的旋转，通过上述螺纹泵流路排出气体，其特征在于，上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。