太阳能集热管快速镀膜设备

摘要

本实用新型是一种太阳能集热管快速镀膜设备，包括真空腔室、与真空腔室相连的抽真空机组和设置在真空腔室内的工件转架机构，在真空腔室的两侧分别设有气流反应溅射装置，气流反应溅射装置设有与真空腔室连通的溅射腔室，溅射腔室内设有两个相对、竖向设置的靶材，靶材的背面设有冷却水套，两个靶材之间设有与真空腔室连通的工作气流通道，工作气流通道的进气端设有与靶材平行的工作气体分布管，工作气体分布管上设有若干朝向工作气流通道的喷气孔，在工作气流通道的出气端设有介质气管，介质气管的上端与真空腔室外的介质气体进气管相接。

主权项

一种太阳能集热管快速镀膜设备，包括真空腔室、与真空腔室相连的抽真空机组和设置在真空腔室内的工件转架机构，其特征在于：在真空腔室的两侧分别设有气流反应溅射装置，气流反应溅射装置设有与真空腔室连通的溅射腔室，溅射腔室内设有两个相对、竖向设置的靶材，靶材的背面设有冷却水套，两个靶材之间设有与真空腔室连通的工作气流通道，工作气流通道的进气端设有与靶材平行的工作气体分布管，工作气体分布管上设有若干朝向工作气流通道的喷气孔，在工作气流通道的出气端设有介质气管，介质气管的上端与真空腔室外的介质气体进气管相接。