周期性结构的非破坏性分析方法

摘要

本发明提供一种周期性结构的非破坏性分析。在该方法中，设置虚拟周期性结构并将其划分成多层。通过利用李普曼-薛定谔方程以及M次插值，计算与所述虚拟周期性结构的反射率或透射率有关的物理性质。在对李普曼-薛定谔方程的离散化中采用的M次插值公式使得能够准确快速地计算周期性结构的物理性质。

主权项

一种周期性结构的非破坏性分析方法，包括以下步骤：(a)照射实际周期性结构，并测量与所述实际周期性结构响应于所述照射的反射率或透射率有关的至少一个物理性质；(b)通过以下步骤计算与虚拟周期性结构响应于所述照射的反射率或透射率中至少之一有关的至少一个物理性质，设置具有一维、二维或三维重复形状以及至少水平重复周期的虚拟周期性结构，将所述虚拟周期性结构划分成垂直堆叠的N层，根据所述虚拟周期性结构定义零级结构和扰动结构，所述扰动结构通过在扰动域中对所述零级结构进行几何或物理改变而获得，计算在光入射到所述零级结构上时的零级反射波或透射波，针对所述虚拟周期性结构的至少一个划分层，使用M次插值对李普曼‑薛定谔方程进行离散化，其中2≤M≤N，根据离散化的李普曼‑薛定谔方程计算扰动反射波或透射波，以及根据所述零级反射波或透射波以及扰动反射波或透射波计算扰动反射率或透射率；以及(c)将步骤(a)中测得的与反射率或透射率有关的至少一个物理性质与步骤(b)中计算出的与反射率或透射率中至少之一有关的至少一个相应物理性质进行比较，其中步骤(b)进一步包括以下步骤：将所述虚拟周期性结构的N层分为X段，其中1≤X≤(N‑1)，以及针对所分的段使用Mi次插值对所述李普曼‑薛定谔方程进行离散化，其中1≤Mi≤N。