掩模数据产生方法

摘要

本发明公开了掩模数据产生方法。掩模数据产生方法包括：获得包含多个图案要素的图案的数据；通过使用获得的图案的数据将图案的区域分成多个部分以使得各图案要素被布置在各部分中，并产生包含指示各部分中的图案要素的有无的信息的地图数据；通过使用禁止在包含一个部分及其周围的部分的约束区域中设定相同掩模个体信息的约束条件和地图数据，对于包含图案要素的各部分设定多条掩模个体信息中的一条掩模个体信息；和通过使用设定的掩模个体信息产生与多条掩模个体信息对应的多个掩模的数据。

主权项

一种掩模数据产生方法，所述掩模数据产生方法用于产生用于多重构图的包含第一掩模和第二掩模的多个掩模的数据，该多重构图用于通过使用第一掩模将基板构图并然后通过使用第二掩模将所述基板构图，该方法包括：获得包含多个图案要素的图案的数据；通过使用获得的图案的数据将图案的区域分成多个部分以使得各图案要素被布置在各部分中，并产生包含指示各部分中的图案要素的有无的信息的地图数据；通过使用约束条件和所述地图数据，对于包含图案要素的每一部分设定多条掩模个体信息中的一条掩模个体信息，所述约束条件禁止在包含一个部分及其周围的部分的约束区域中设定相同掩模个体信息；和通过使用设定的掩模个体信息产生与所述多条掩模个体信息对应的所述多个掩模的数据。