一种高性能环保化学机械研磨组合物

摘要

本发明公开了一种高性能环保化学机械研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三乙醇胺25-32份，EDTA1-5份，除油剂3-8份，除油粉7-12份，表调剂11-15份，硫酸钾8-10份，无水硫酸钠10-16份，硝酸钾5-16份，亚硝酸钠7-15份，亚硫酸钠2-4份，甲基丙烯酸甲酯15-20份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，抗氧剂2-4份，防老剂1份，氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料，可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力，使化学机械研磨剂和琉水性薄膜更紧密贴合。

主权项

一种高性能环保化学机械研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：三乙醇胺25‑32份，EDTA1‑5份，除油剂3‑8份，除油粉7‑12份，表调剂11‑15份，硫酸钾8‑10份，无水硫酸钠10‑16份，硝酸钾5‑16份，亚硝酸钠7‑15份，亚硫酸钠2‑4份，甲基丙烯酸甲酯15‑20份，甲基三乙氧基硅烷14‑19份，抗氧剂2‑4份，防老剂1份，氯化钙2‑5份。