静电应对部件及其制造方法

摘要

本发明提供一种静电应对部件及其制造方法。静电应对部件具有第一高热传导基板、第二高热传导基板、变阻层和多个贯通电极。在第一高热传导基板上设有多个第一贯通孔。在第二高热传导基板上设有多个第二贯通孔。以氧化锌为主要成分的变阻层设于第一高热传导基板与第二高热传导基板之间。变阻层具有内部电极。各贯通电极贯通变阻层，以填埋的方式连接一个第一贯通孔和一个第二贯通孔。

主权项

一种静电应对部件，其中，包括：第一高热传导基板，其设有两个第一贯通孔；第二高热传导基板，其设有两个第二贯通孔；变阻层，其设于所述第一高热传导基板与所述第二高热传导基板之间，在内部具有彼此绝缘的一对内部电极，且以氧化锌为主要成分；第一贯通电极，其贯通所述变阻层，以填埋的方式连接所述第一贯通孔的一方和所述第二贯通孔的一方，并且与所述内部电极的一方相连接；第二贯通电极，其贯通所述变阻层，以填埋的方式连接所述第一贯通孔的另一方和所述第二贯通孔的另一方，并且与所述内部电极的另一方相连接。