发明名称 采用中频感应加热的扩散炉
摘要 本实用新型公开了一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管、加热控制器和热电偶,在扩散炉管外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管,在耐高温不锈钢管外围再紧密地套上绝缘隔热筒,在绝缘隔热筒外部绕有加热感应线圈,加热感应线圈在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,耐高温不锈钢管的管壁内部产生涡流并感应生成热能,从而实现对扩散炉的加热,中频电源控制柜通过接收一系列热电偶的反馈信号,调节加热感应线圈中的电流以改变磁场,进而改变耐高温不锈钢管发热状态,从而实现对扩散炉管内温度的控制。本实用新型采用中频感应加热,升温速度很快,节约预热时间,发热效率高,节能,节电,环保,装备使用寿命长。
申请公布号 CN203367244U 申请公布日期 2013.12.25
申请号 CN201320412106.3 申请日期 2013.07.11
申请人 上海大学 发明人 杜鹏程;陆利新;谢亚胜;丁飞
分类号 H01L21/67(2006.01)I;F27D11/06(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 代理人 何文欣
主权项 一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管(3)、加热控制器和热电偶(5),其特征在于:在所述扩散炉管(3)外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管(2),在所述耐高温不锈钢管(2)外围再紧密地套上绝缘隔热筒(1),在所述绝缘隔热筒(1)外部绕有加热感应线圈(4),所述加热感应线圈(4)在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,所述耐高温不锈钢管(2)的管壁内部产生涡流并感应生成热能,热能再传导于所述扩散炉管(3)上,从而实现对扩散炉的加热,所述加热感应线圈(4)和在所述扩散炉管(3)内设置的一系列所述热电偶(5)通过总线连接到中频电源控制柜(6)上,所述中频电源控制柜(6)通过接收一系列热电偶(5)的反馈信号,调节所述加热感应线圈(4)中的电流以改变磁场,进而改变所述耐高温不锈钢管(2)的发热状态,从而实现对所述扩散炉管(3)内温度的控制。
地址 200444 上海市宝山区上大路99号