发明名称 |
缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺 |
摘要 |
本发明属于多晶硅铸锭领域,具体涉及一种缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺,包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方,其中,长晶包括长晶阶段和边角长晶阶段,其特征在于边角长晶阶段进行到1/4~1/6时即进行下一步的退火阶段。本发明的优点在于:(1)通过缩短边角长晶阶段的时间,提前进入退火阶段,有效的缩短了整个工艺时间2~3h,并且还能有效防止铸锭顶部杂质的反扩散,提高多晶硅铸锭的质量;(2)由于工艺时间的缩短,减少了电力和人力成本的支出,使得整个铸锭工艺的成本降低5%左右。 |
申请公布号 |
CN103469302A |
申请公布日期 |
2013.12.25 |
申请号 |
CN201310373487.3 |
申请日期 |
2013.08.23 |
申请人 |
青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
发明人 |
谭毅;李鹏廷;王峰;安广野;姜大川;熊华江;黄佳琪 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺,包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方,其中,长晶包括中央长晶阶段和边角长晶阶段,其特征在于边角长晶阶段进行到1/4~1/6时即进行下一步的退火阶段。 |
地址 |
266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地 |