填充和分配并行操作的活塞阀

摘要

本发明主要涉及体积位移阀，尤其是填充和分配并行操作的活塞阀（2），其使得液体能够在其他腔体正在填充时从一个腔体（6）中被分配，因此允许了同步填充和将液体灌注到基板。它也消除了填充和重新装载周期，因此减少了停工时间，所述停工时间反过来增加了分配频率。

主权项

填充和分配并行操作的活塞阀（2），包括：至少一个输入端口（8），以允许输入液体进所述腔体（6）并充满；至少一个输出端口（10），以允许从所述腔体（6）输出液体并分配到基板上；至少一个开关（12）；其特征在于：所述开关（12）是交替开关，其操作使得液体沿着通道流进和流出所述腔体（6）以并行填充和分配操作，进一步其特征在于多个腔体（6），以容纳提供的液体，其中至少一个活塞（4）提供在每个所述腔体（6）中。