等离子体高频高压电源

摘要

本发明公开一种闪络数低、电源效率高的等离子体高频高压电源，包括依次串联的EMC管理单元、整流滤波/慢启动单元、BUCK变换单元、全桥高频变换单元、高频高压变压器和高压整流滤波单元，还包括辅助电源、DSP控制及参数显示单元、电流/电压传感单元和IGBT驱动单元，来自三相交流电网的380V交流电源经EMC管理单元滤除来自电网的高频干扰信号和本电源工作时所产生的高次谐波，又经整流滤波/慢启动单元形成脉动直流电源，再经BUCK变换单元实现同步续流，再经全桥高频变换单元实现定频谐振式零压零流全桥变换器，再经高频高压变压器升压，最后经高压整流滤波单元整流滤波后产生高压输出。本发明的等离子体高频高压电源可适用于等离子体发生器。

主权项

一种等离子体高频高压电源，其特征在于：包括EMC管理单元（1）、整流滤波/慢启动单元（2）、BUCK变换单元（3）、全桥高频变换单元（4）、高频高压变压器（5）和高压整流滤波单元（6），所述EMC管理单元（1）的输入端作为所述等离子体高频高压电源的三相交流电源输入端，EMC管理单元（1）的第一输出端与整流滤波/慢启动单元（2）的第一输入端相连，BUCK变换单元（3）的第一输入端与整流滤波/慢启动单元（2）的输出端相连，BUCK变换单元（3）的输出端与全桥高频变换单元（4）的第一输入端相连，高频高压变压器（5）的输入端接全桥高频变换单元（4）的输出端，高频高压变压器（5）的输出端接高压整流滤波单元（6）的输入端，所述高压整流滤波单元（6）的第一输出端作为所述等离子体高频高压电源的高压输出端；还包括辅助电源（10）、DSP控制及参数显示单元（8）、电流/电压传感单元（7）和IGBT驱动单元（9），所述辅助电源（10）的输入端接EMC管理单元（1）的第二输出端，所述辅助电源（10）的输出端接DSP控制及参数显示单元（8）的第一输入端，所述DSP控制及参数显示单元（8）的第二输入端接电流/电压传感单元（7）的输出端，所述电流/电压传感单元（7）的输入端与所述高压整流滤波单元（6）的第二输出端相连；所述DSP控制及参数显示单元（8）的第一输出端与整流滤波/慢启动单元（2）的第二输入端相连，所述DSP控制及参数显示单元（8）的第二输出端与IGBT驱动单元（9）的输入端相连，所述IGBT驱动单元（9）的第一输出端接BUCK变换单元（3）的第二输入端，所述IGBT驱动单元（9）的第二输出端接高频变换单元（4）的第二输入端；来自三相交流电网的380V交流电源经EMC管理单元（1），滤除来自电网的高频干扰信号和本电源工作时所产生的高次谐波，又经整流滤波/慢启动单元（2）形成脉动直流电源，再经BUCK变换单元（3）实现同步续流，再经全桥高频变换单元（4）实现定频谐振式零压零流全桥变换器，再经高频高压变压器（5）升压，最后经高压整流滤波单元（6）整流滤波后输出；DSP控制及参数显示单元（8）由辅助电源（10）供电，根据电流/电压传感单元（7）的信号，通过IGBT驱动单元（9）对BUCK变换单元（3）和全桥高频变换单元（4）进行时序控制，DSP控制及参数显示单元（8）还对整流滤波单元（2）进行启动控制。