| 发明名称 | 晶圆电性测试墨点清除器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆电性测试墨点清除器，包括滴管和吸嘴；所述吸嘴包括管体、棉头、固定套、接真空的软管，所述棉头通过所述固定套安装在所述管体一头，且所述棉头的端面外露于所述管体的端面，所述接真空的软管安装在所述管体另一头。本发明的优点是结构简单，可操作性强，清洗过程连续易控制，清洗效果提高，效率可以调高35%，且不会对晶粒造成刮伤，安全性好。 | ||
| 申请公布号 | CN103474380A | 申请公布日期 | 2013.12.25 |
| 申请号 | CN201310428207.4 | 申请日期 | 2013.09.18 |
| 申请人 | 镇江艾科半导体有限公司 | 发明人 | 王刚;蒋忠 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种晶圆电性测试墨点清除器，其特征在于：包括滴管（100）和吸嘴（200）；所述吸嘴（200）包括管体（201）、棉头（202）、固定套（203）、接真空的软管（204），所述棉头（202）通过所述固定套（203）安装在所述管体（201）一头，且所述棉头（202）的端面外露于所述管体（201）的端面，所述接真空的软管（204）安装在所述管体（201）另一头。 | ||
| 地址 | 212009 江苏省镇江市丁卯南纬四路科技新城E56号楼 | ||