检测退火设备反应腔内漏氧的方法

摘要

本发明公开了一种检测退火设备反应腔内漏氧的方法，包括：提供晶圆衬底；在晶圆衬底上沉积氧化层和多晶硅层；对晶圆衬底进行离子注入；在退火设备反应腔内对晶圆衬底进行退火处理；测量退火后的晶圆衬底的阻值，定义为第一阻值；在同等条件下，定义所述晶圆衬底在无漏氧的退火设备反应腔内的阻值为第二阻值；将第二阻值与第一阻值进行比较，若第二阻值大于第一阻值，则判断退火设备反应腔内漏氧。根据氧气含量与退火后晶圆电阻的关系，可以检测退火设备反应腔是否漏氧、漏氧的量、反应腔内氧气的分布情况以及漏氧位置，由于没有使用金属元素，从而避免了半导体器件的短路以及对设备的污染，降低了成本。

主权项

一种检测退火设备反应腔内漏氧的方法，其特征在于，包括：提供晶圆衬底；在晶圆衬底上沉积氧化层和多晶硅层；对晶圆衬底进行离子注入；在退火设备反应腔内对晶圆衬底进行退火处理；测量退火后的晶圆衬底的阻值，定义为第一阻值；在同等条件下，定义所述晶圆衬底在无漏氧的退火设备反应腔内的阻值为第二阻值；将第二阻值与第一阻值进行比较，若第二阻值大于第一阻值，则判断退火设备反应腔内漏氧。