一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线

摘要

本发明涉及一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线。所述制备二维原子晶体材料的连续化生产线包括依次连接的设有第一卷辊（11）的放卷室（1）、电感耦合-化学气相沉积室（2）、冷却室（3）以及设有第二卷辊（41）的收卷室（4）。本发明提供的制备二维原子晶体材料的连续化生产线能够实现二维原子晶体材料的连续化生产，制备效率高，降低了二维原子晶体材料的生产成本，生产过程条件可控，工艺条件稳定，重复性高；制备得到的二维原子晶体材料的长度可控，可以生长较长的二维原子晶体材料。

主权项

一种制备二维原子晶体材料的连续化生产线，其特征在于，所述生产线包括依次连接的设有第一卷辊（11）的放卷室（1）、电感耦合‑化学气相沉积室（2）、冷却室（3）以及设有第二卷辊（41）的收卷室（4）；其中，所述第一卷辊（11）卷有待沉积二维原子晶体材料的衬底（7），所述衬底由第一卷辊（11）放卷，并由第二卷辊（41）将制备得到的沉积有二维原子晶体材料的衬底（8）收卷；所述电感耦合‑化学气相沉积室（2）包括用于发生化学气相沉积的高温生长单元（21），以及与所述高温生长单元（21）连接，并向其提供等离子体的电感耦合线圈（22）；所述电感耦合‑化学气相沉积室（2）具有进气口（23）和出气口（24）。