| 发明名称 | 一种减压干燥单元 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例提供了一种减压干燥单元，涉及干燥技术领域，为提高真空传感器的灵敏度及使用寿命而设计。所述减压干燥单元包括减压腔室，所述减压腔室连接有氮气管路、并通过连接管路连接有真空传感器，所述减压干燥单元还包括破折管路，所述破折管路的一端与所述连接管路相连通、另一端与氮气管路相连通。本实用新型可用于回收光刻胶在涂布后挥发的有机溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN203367237U | 申请公布日期 | 2013.12.25 |
| 申请号 | CN201320490555.X | 申请日期 | 2013.08.12 |
| 申请人 | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 金杨林;徐海涛;章全胜;江涛;沈书兵;曹金亮 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种减压干燥单元，包括减压腔室，所述减压腔室连接有氮气管路，所述减压腔室通过连接管路连接有真空传感器，其特征在于，还包括破折管路，所述破折管路的一端与所述连接管路相连通，所述破折管路的另一端与所述氮气管路相连通。 | ||
| 地址 | 230011 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 | ||