一种研磨抛光机的冷却密封结构

摘要

本发明公开了一种研磨抛光机的冷却密封结构，包括中心轴、设在中心轴上的托盘、设在托盘上的研磨盘，所述托盘上设有冷却循环水道，冷却循环水道的进水口和出水口均经所述中心轴通过旋转接头与水冷却装置相连；所述冷却循环水道为若干条以中心轴为中心分别构成扇形冷却区，各冷却循环水道在其扇形冷却区内成同心圆之字形分布。本发明由于采用成扇形布置且成同心圆之字形分布的冷却循环水道，使得圆周上的冷却循环水道之间具有相等的距离，冷却循环水道对研磨盘的每一部分的都具有同样的散热效果，而且可以保证冷却水必须完全经过水道回路而没有滞留，确保抛光盘能得到充分和及时的冷却，获得较好的冷却效果。

主权项

一种研磨抛光机的冷却密封结构，包括中心轴、设在中心轴上的托盘、设在托盘上的研磨盘，所述托盘上设有冷却循环水道，冷却循环水道的进水口和出水口均经所述中心轴通过旋转接头与水冷却装置相连；其特征是所述冷却循环水道为若干条以中心轴为中心分别构成扇形冷却区，各冷却循环水道在其扇形冷却区内成同心圆之字形分布。