用于顺性机构的制造结构和方法

摘要

本发明在不同的方面涉及用于MEMS致动的显示器的系统和方法，这些显示器能够在高速和低电压下进行驱动用于改进图像质量并且降低功耗。

主权项

一种MEMS装置，包括：一个高度与宽度比大于4：1的第一梁，其中该第一梁完全地包围了一个空间的边界；一个机械式光调制器，其中该第一梁形成了一个致动器的至少一部分，所述致动器用于沿运动平面移动所述机械式光调制器从而对光进行调制；以及一个第二梁，被布置为使得该第一梁和该第二梁包围了对应的、不相交的空间；其中所述宽度对应于梁沿所述光调制器的运动平面延伸的尺寸，所述高度对应于梁在平面外的方向上延伸的尺寸。