一种精确的平行度调节装置及调节方法

摘要

本发明涉及一种精确的平行度调节装置，包括分别用于承载两个待调元件的载体、用于支撑所述载体的两个可移动支架及三个视频显微镜；两个待调元件的待调面为平面，两个待调元件间距中心处正下方设有单色光源；两个可移动支架以两个待调元件的待调面大体平行且相对的方式排列，载体之一与其可移动支架通过至少三个贯穿二者的可调紧固件连接，可调紧固件上套装有压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别抵在可调紧固件的头端和可移动支架上；视频显微镜的物镜设在两个待调元件的间隙的外缘处，三个视频显微镜的镜筒的中轴线位于同一平面内。本发明还提供了上述平行度调节装置的调节方法。本发明所提供的平行度调节装置可保证两个待调元件的平行度实时可调和检测。

主权项

一种精确的平行度调节装置，其特征在于，包括分别用于承载两个待调元件的载体、用于支撑所述载体的两个可移动支架以及三个视频显微镜；两个待调元件的待调面为平面，两个待调元件间距中心处正下方设有单色光源；两个可移动支架以两个待调元件的待调面大体平行且相对的方式排列，所述载体之一与其可移动支架通过至少三个贯穿二者的可调紧固件连接，所述可调紧固件上套装有压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别抵在可调紧固件的头端和可移动支架上；三个视频显微镜的物镜设在两个待调元件的间隙的外缘处，三个视频显微镜的镜筒的中轴线位于同一平面内。