一种超疏液表面的制备方法及超疏液表面

摘要

本申请公开了一种超疏液表面的制备方法，包括：使用干法刻蚀在硅基板上刻蚀获得T型微纳米结构；将所述T型微纳米结构通过弹性材料转印至加热可固化材料；对加热可固化材料上的T型微纳米结构进行疏水处理，使加热可固化材料上的T型微纳米结构的表面形成疏水薄膜。本申请还公开了一种超疏液表面。本申请由于使用弹性材料将刻蚀在硅基板上的T型微纳米结构，转印至加热可固化材料，借助弹性体材料软复制的方法，使刻蚀在硅基板上的T型微纳米结构可多次转印到加热可固化材料，利用标准的半导体加工工艺，加工适用于多种可固化材料的结构可控、性能优良的超疏液表面，本申请可实现批量生产，具有高产量、高精度、低成本的显著优势。

主权项

一种超疏液表面的制备方法，其特征在于，包括：使用干法刻蚀在硅基板上刻蚀获得T型微纳米结构；将所述T型微纳米结构通过弹性材料转印至加热可固化材料；对加热可固化材料上的T型微纳米结构进行疏水处理，使加热可固化材料上的T型微纳米结构的表面形成疏水薄膜。