发明名称 一种硅基GaN外延生长结构
摘要 本实用新型公开了一种硅基GaN外延生长结构,包括硅衬底、缓冲层、第一N型GaN层、第二N型GaN层、多量子阱层、第一P型GaN层和第二P型GaN层,所述缓冲层覆盖在硅衬底上,第一N型GaN层覆盖在缓冲层上,第二N型GaN层覆盖在第一N型GaN层上,多量子阱层覆盖在第二N型GaN层上,第一P型GaN层覆盖在多量子阱层上,第二P型GaN层覆盖在第一P型GaN层上。本实用新型的结构具有高可靠性、高亮度的优点。
申请公布号 CN203367337U 申请公布日期 2013.12.25
申请号 CN201320411968.4 申请日期 2013.07.11
申请人 四川海金汇光电有限公司 发明人 罗锦贵
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I 主分类号 H01L33/02(2010.01)I
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 代理人 冉鹏程
主权项 一种硅基GaN外延生长结构,其特征在于:包括硅衬底(7)、缓冲层(6)、第一N型GaN层(5)、第二N型GaN层(4)、多量子阱层(3)、第一P型GaN层(2)和第二P型GaN层(1),所述缓冲层(6)覆盖在硅衬底(7)上,第一N型GaN层(5)覆盖在缓冲层(6)上,第二N型GaN层(4)覆盖在第一N型GaN层(5)上,多量子阱层(3)覆盖在第二N型GaN层(4)上,第一P型GaN层(2)覆盖在多量子阱层(3)上,第二P型GaN层(1)覆盖在第一P型GaN层(2)上。
地址 629300 四川省遂宁市创新工业园区