基板减薄固定工具及基板减薄装置

摘要

本实用新型提供了一种基板减薄固定工具及基板减薄装置，所述基板减薄固定工具用于将基板设置于蚀刻槽内，包括：能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。本实用新型所提供的基板减薄固定工具通过设置旋转机构，可以使得基板在整个化学浸泡减薄过程中周向旋转360°，以确保基板的各个区域都充分与蚀刻液充分接触反应，从而使得基板的各个区域反应速率相对恒定，提高了化学减薄后的基板的厚度均一性。

主权项

一种基板减薄固定工具，用于将基板设置于蚀刻槽内，其特征在于，所述基板减薄固定工具包括：能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。