一种凝胶注模成型制备大规格平板ITO靶材坯体的方法

摘要

一种凝胶注模成型制备大规格平板ITO靶材坯体的方法,是将纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.08~2μm的ITO粉体通过在水溶剂中加入单体、交联剂、应力缓释剂、增塑剂、有机分散剂并调节pH值，再通过控制球磨工艺制备成高固含量（85~90%）、低粘度的ITO浆料，浆料中加入引发剂和催化剂并搅拌均匀后浇注于自制模具中，在55～58℃温度下干燥2h后固化，可制备出大规格、不变形的ITO靶材坯体。

主权项

一种凝胶注模成型制备大规格平板ITO靶材坯体的方法,其特征是：选择纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.08~2μm的ITO粉体为原料，其制备过程如下：（1）预混液的制备: 在占ITO粉体的11.1 wt%~17.6wt%的去离子水溶剂中加入添加剂，其添加剂加入量的质量百分数为：单体占ITO粉体的1.10%~2.50%，交联剂占ITO粉体的0.15%~0.33%，分散剂占ITO粉体的0.12%~0.38%，应力缓释剂占单体的2.08%~20.15%，增塑剂占单体的10.42%~16.30%；用氨水调节溶液pH值至9~10，配置过程中搅拌混合均匀；（2）浆料球磨工艺：在步骤（1）制备的预混液中加入ITO粉体，再于球磨罐中进行湿磨；球磨后ITO浆料固含量为85~90%，转速20s‑1下的室温粘度值为102~298mPa·s；（3）大规格坯体的固化成型工艺：将步骤（2）制备的浆料中加入占单体0.73%的引发剂和占单体0.1%的催化剂，搅拌均匀后，浇注于模具中并于55～58℃温度下干燥2h后固化，制备出大规格、高密度、不变形的ITO靶材坯体。