一种多晶硅生产中原料混合氯硅烷节能回收工艺

摘要

本发明涉及节能技术领域，为了在多晶硅生产中降低成本，节约能源，充分利用尾气中混合氯硅烷，本发明提供的技术方案为从解析塔塔釜采出的100-150℃高温氯硅烷与换热器冷媒进行换热，获得70-115℃等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷，然后分别依次在解析塔压力和循环氯硅烷缓冲罐压力作用下送入循环氯硅烷缓冲罐和精馏塔，进行纯化，本发明避免了从解析塔采出后的过度降温和在精馏塔中再补充加温，节约了能源，降低了生产成本，并且具有节约蒸汽用量20％，及工艺简单，操作容易等有益效果。

主权项

一种多晶硅生产中原料混合氯硅烷节能回收工艺，其特征为工艺设备组成有氯硅烷解析塔、换热器、循环氯硅烷缓冲罐、精馏塔及再沸器，节能回收工艺步骤如下：1）尾气回收系统中解析塔塔釜采出的100‑150℃高温氯硅烷与换热器冷媒进行换热，获得70‑115℃等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷；2）等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷由解析塔压力直接送入循环氯硅烷缓冲罐；3）循环氯硅烷缓冲罐中等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷由循环氯硅烷缓冲罐压力送入精馏塔提纯。