载盘检测装置

摘要

一种载盘检测装置，用来检测一个具有一个检测面的载盘的平整性，并可供一个厚度量测单元架设，以检测承载于该载盘上的一片晶圆的厚度，该检测装置包含：一个升降机构、一个安装在该升降机构的一个升降板下方的平衡机构，以及一个架设在该平衡机构上的平整检测单元，该平衡机构包括一个可偏斜地垂挂在该升降板下方的平衡板，所述平整检测单元包括一支基准探针及一支检测探针，该基准探针及该检测探针都是安装于该平衡板并可抵靠在该载盘的检测面上。前述平整检测单元可以量测该载盘的平整性，以避免当该载盘因为长期使用产生弯翘时，影响到该厚度量测单元对于该晶圆量测的正确性。

主权项

一种载盘检测装置，用来检测一个载盘的平整性，并可供一个厚度量测单元架设，以检测承载于该载盘上的一片晶圆的厚度，所述载盘具有一个检测面，其特征在于：该检测装置包含：一个升降机构，包括一个可往复升降的升降板；一个平衡机构，受到该升降机构驱动，并包括一个可偏斜地垂挂在该升降板下方并供该厚度量测单元架设的平衡板；及一个平整检测单元，包括安装于该平衡板并可抵靠在该载盘的检测面上的一支基准探针及一支检测探针。