薄膜太阳能电池制造装置

摘要

一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜空间(81)，以基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板(W)，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元(68、118、128)，具有施加有电压的阴极(75)和两个以上的供电点(88)，所述阴极(75)配置在两侧；以及阳极(67)，与配置在所述阴极单元(68、118、128)的两侧的所述阴极(75)隔开并对置地配置。

主权项

一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：成膜空间，以多个基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述多个基板，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元，具有施加有电压的阴极和两个以上的供电点，所述阴极配置在两侧；阴极中间部件，设置在所述阴极单元上，且配置有所述供电点；一对阳极，与配置在所述阴极单元的两侧的所述阴极隔开并对置地配置；配线，从匹配箱延伸出，沿着所述阴极中间部件的外周敷设到所述供电点，将所述供电点与所述匹配箱电连接；以及绝缘部件，包围所述阴极中间部件的外周、所述供电点以及所述配线的周围。