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<p>에피택셜 기판의 패턴화 방법은, (a) 에피택셜 기판(3') 상에 에치 마스크층(201)을 형성하고, 에치 마스크층(201)을 복수의 이격된 마스크 패턴(202)으로 형성하도록 패턴화된 커버 마스크층(300)을 이용하여 에치 마스크층(201)을 패턴화하는 단계와, (b) 마스크 패턴(202)으로부터 노출되는 에피택셜 기판(3')을 에칭하고, 에피택셜 기판(3')이 복수의 이격된 기판 패턴(32)을 갖도록 형성되게 마스크 패턴(202)을 제거하는 단계를 포함한다.</p> |
