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Es besteht eine Grenze hinsichtlich Reichweite und Entfernung, in welcher ein Elektronenstrahl interferieren kann, und die Elektroneninterferenz wird innerhalb einer Reichweite einer Kohärenzlänge umgesetzt. Daher werden Interferenzbilder aufeinanderfolgend für jede Interferenzbereichsbreite von einem Interferenzbild einer Referenzwelle und eines Beobachtungsbereichs neben der Referenzwelle unter Berücksichtigung der Tatsache aufgezeichnet, dass eine Phasenverteilung, die von einer Interferenzmikroskopie regeneriert und beobachtet wird, ein Differenzial zwischen Phasenverteilungen von zwei zur Interferenz verwendeten Wellen und einem Differenzialbild zwischen Phasenverteilungen eines vorgegebenen Beobachtungsbereichs ist, und eine vorgegebene Referenzwelle wird erhalten, indem integrierende Phasenverteilungen erhalten werden, die durch individuelles Regenerieren der Interferenzbilder erhalten werden. Diese Arbeit ermöglicht einen breiten Interferenzbildumfang, der mehr als eine Kohärenzlänge ist, durch Anordnen von Phasenverteilungsbildern, die in den jeweiligen Phasenverteilungen in einer vorgegebenen Reihenfolge durchgeführt und erhalten werden. |
