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发明名称
包含倒T型通道电晶体之多重装置型态及其方法
摘要
本发明提供一种用于制造一半导体装置(10)之方法。该方法包含形成一具有一鳍状翼(56)及一在该鳍状翼(56)之两侧面上延伸之横向半导体层(54)的第一电晶体(94)。该方法进一步包含形成一具有一鳍状翼(58)的第二电晶体(96)。该方法进一步包含形成一具有一鳍状翼(60)及一在该鳍状翼(60)之仅一侧面上延伸之横向半导体层(54)的第三电晶体(98)。
申请公布号
TWI420603
申请公布日期
2013.12.21
申请号
TW095138069
申请日期
2006.10.16
申请人
飞思卡尔半导体公司 美国
发明人
毕杨W 明;詹姆士D 柏奈特;里欧 马修
分类号
H01L21/336;H01L21/8244;H01L27/11
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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