制造一氮化闸极介电层之方法

摘要

一种闸极介电层(14)系利用一氮化步骤(16)及一退火处理。随后，执行另一氮化步骤(20)及退火。第二氮化(20)及退火即造成最终形成之电晶体(60)之闸极漏电密度与电流驱动之间关系的改善。