发明名称 |
影像感测装置及其形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种影像感测装置及其形成方法。该方法包含:提供一透镜;形成一第一犠牲单元于该透镜之上;形成一电磁干扰层于该透镜及该第一犠牲单元之上;移除该第一犠牲单元及部份形成于该第一犠牲单元上的该电磁干扰层,以形成一具有一开口之电磁干扰图案,其中该开口露出该透镜之一选择部份;形成一第二犠牲单元于该开口之内以覆盖该透镜之选择部份的一区域,且仍露出该透镜之选择部份的一周围区域;形成一遮光层于该电磁干扰图案、该第二犠牲单元、以及该透镜之选择部份的该周围区域之上;以及,移除该第二犠牲单元及该第二犠牲单元之上的该遮光层,以露出该透镜之选择部份的该区域作为一透光区。 |
申请公布号 |
TWI420661 |
申请公布日期 |
2013.12.21 |
申请号 |
TW099132979 |
申请日期 |
2010.09.29 |
申请人 |
采钰科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区笃行一路12号;豪威科技股份有限公司 美国 |
发明人 |
刘明凯;黄自维;张瑞鸿;黄家辉;陈腾盛 |
分类号 |
H01L27/146 |
主分类号 |
H01L27/146 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |