热效应自补偿系统及用于热效应补偿的装置与方法

摘要

一种用于热效应补偿的装置包含一基板、一埋藏压阻、及一微悬臂梁。该埋藏压阻及该微悬臂梁形成于该基板上。一热效应自补偿系统包含该埋藏压阻及该微悬臂梁，该埋藏压阻具有一第一压阻，该微悬臂梁具有一第二压阻，该热效应自补偿系统藉由该第一压阻的温度对压阻关系与该第二压阻的温度对压阻关系进行一温度补偿。