离子束照射装置及半导体装置之制造方法

摘要

一种离子束照射装置具有一场发射电子源10，该场发射电子源10系配置在该离子束2之路径的附近中及该场发射电子源10发射电子12。该场发射电子源10被放置在一方向上，沿着该方向从该电子源10所发射之电子12所形成之入射角及平行于该离子束2之行进方向的方向系在－15度至＋45度之范围内(该离子束2之向内方向为＋，以及向外方向为－)。